Customized Interferometer Systems

客製化的干涉儀系統

TRIOPTICS為超出標準測量系統範圍的應用提供專業系統的廣泛支持，μPhase®具有高度的模組化設計和干涉儀的緊密設計，非常靈活，這意味著特殊測量的客製化解決方案可以在標準組件的基礎上調整並運行。選擇所需的組件，並根據需要，由我們的應用和軟體工程師開發額外的客製化模組以及軟體模組。

主要特點

• 快速和非破壞性的單次測量
• 高分辨率的相機
• 輕鬆適應各種不同的樣品反射率（僅限μPhase®1000）
• 能夠對焦於樣品表面（僅限μPhase®1000）
• 第二相機可用於校準
• 緊密的尺寸和模組化設計
• 具備堅固的防塵外殼
• 在生產設備和生產線上易於整合
• 標準測量波長632.8 nm; 客製化版本波長測量的範圍可從355nm到1064nm

• 良好的結構與綜合軟體可支持生產和實驗室使用

產品應用(選配)

• 測量反射中的平面，球面、圓柱面、複曲面和非球面
• 球面、環面和非球面透鏡的絕對半徑測量
• 透射光波前的測量
• 直接在超精密金剛石車床上進行工具偏移測量，避免費時和樣品更換或校準導致出錯
• 隱形眼鏡和模具的測量
• 適用於鏡像測試
• 許多高精度非光學元件的測試：

1.光纖端面
2.雷射二極體面測試
3.不同材質的球
4.散熱片
5.密封表面（如金屬，陶瓷和合成材料）

• 汽車應用，例如測量燃油噴嘴
• 醫療應用，例如人造髖關節的測試

干涉儀軟體

描述

借助可自由配置的µShape™軟體，µPhase®理想地用於生產以及研發。該軟體控制測量，提供全面的分析選項及完整的文件。測量模板可以最大程度地提高測量過程的透明度，並可以快速記錄測試結果。

結構清晰，表單化用戶界面的μShape™始終符合µPhase®的廣泛使用，並可通過可用模塊以多種不同方式進行擴展。 即使已經先購買了μPhase®系統，也可以隨時添加這些模組。

µShape™軟體主要是為µPhase®操作而開發，但也可用於操作其他製造商的實驗室和車間干涉儀。客制化的功能開發是可達成的。 

特徵

• 可使設置針對不同的用戶級別，而有不同的訪問權限
• 針對全面及具體情況的直接幫助
• 由於易於配置的模板可用於任何類型的測量工作和分析，因此易於使用且減少用戶的培訓
• 可保存測量結果而無需重新測量的重新分析選項
• 簡易存儲各種圖形格式的圖形（bmp，jpg…）
• 將單個參數或選取的數據輸出為文字檔(TXT)、二進制或其他常用文件格式（例如QED，Zygo XYZ，DigitalSurf）以進行外部處理
• 測量報告提供了全面的結果表示，並且可以通過多種方式進行配置，包括客戶的標誌
• 通過分別顯示校準和測量過程的清晰結構，清晰顯示程序模式
• 以2D，3D圖形或可自由選擇的截面圖形（1D）全面顯示測量參數作為測量值，包括完整的即時相機圖像
• 以μShape™程序文件中的數據格式範本來儲存各項參數和設定，包括窗口大小和位置，快速測量重複零件
• 以持續開發和定期更新的方式提供最新技術，或者依客戶要求或軟體價格來提供
• 可與Windows 10一起使用 

功能

"非球面"：球面或CGH設置中的非球面分析

非球面模組的特點是藉由較強大的電腦全像術（CGH）來分析旋轉對稱非球面，而不是以較弱的球面分析設置方式來分析旋轉對稱非球面。非球面的描述可以輸入和儲存，且支持各種儲存格式。藉由軟體提供的非球面擬合功能，可有效地消除調整誤差以及系統設置誤差。

"圓柱型"：圓柱型分析

圓柱型模式可使用電腦全像術(CGH）來分析圓柱型樣品。藉由軟體提供的圓柱型擬合功能來消除調整誤差。 

"外部介面"：外部通訊介面

外部介面模式可讓μShape和外部軟體（例如LabVIEW™）之間進行通信，以通過外部程序（例如，示波器）控制干涉儀。在自動化系統中

"快速波紋"：靜態條紋分析

該模塊可以分析單個干涉圖，以便在不穩定的環境中或使用不帶移相裝置的干涉儀進行測量。

"光纖連接器"：光纖連接器分析

光纖連接器附件提供了根據國際IEC條立，對物理接觸類型的光纖連接器終端介面的分析。主要參數僅用一次測量，並顯示可選擇的分析(合格/不合格)結果選項。

"均勻度"：測量透明樣品的均質性

在均勻度程式模式中，可以判斷待測樣品光通道受到的兩種影響，即均勻度（折射率變化）和厚度變化。

"數學模式"：數學運算模式

在這個程序模式下，不同的數據圖可以通過數學計算結合到一個附加的結果圖中進行分析，但矩陣操作(Matrix operations)是不可行的。

"多孔徑"：一步進行多孔徑分析

該模式能夠在一個區域中對各個獨立的孔徑進行同步的測量和分析，例如測量固定在拋光頭(polishing head)上的零件。

同時測量未連接的孔的可能性也使楔形分析成為可能。這一分析可用於確定平面鏡的楔角以及一個物體後方帶有附加鏡的平面傳輸板的光學楔角。

"多重統計"：對多個子光圈的相同統計分析

當樣品規格為同一個樣品的不同區域定義不同的條件時，MultiStat模式允許在一次測量中計算所有樣品，並分別列出每個區域的結果。

"MTF / PSF"：MTF分析

在光學領域，MTF用於描述光學系統的質量。該模塊允許計算焦點和無焦點光學組件和系統的MTF

"棱鏡"：棱鏡分析

藉由分析觀察到的邊緣干涉形態(根據偏差角度從目標角度90°相對於0°)可以量測到90度角的角度誤差、角形反射棱鏡以及楔形角。

"粗糙度/ PSD"：粗糙度和PSD的分析

該模塊允許沿著自由定義的直線計算功率譜密度（PSD）以及粗糙度參數。

"樣本正常數據"：考慮已知樣本偏差

樣本正常數據（Sample Normal Data）可以指定並考量到測試樣品的附加錯誤，例如設計相關的公稱值。