WaveMaster®PRO 2 / PRO 2 Wafer

是全自動波前量測系統，配有Shack-Hartmann感測器，用於透鏡和光學晶片的串聯測試

大批量生產小型塑膠或玻璃鏡片的光學品質與效率要求不斷提高。使用波前測量技術在這樣的批量生產中可以產生很大的優化潛力。

WaveMaster® PRO 2 & PRO 2 Wafer為批量的光學與光學晶片檢測制定了新的標準。典型的量測時間為2秒。光學元件與托盤的快速更換可以滿足批量生產的先決要件。就測量技術而言，WaveMaster®PRO 2和PRO 2 Wafer使用Shack-Hartmann感測器以確定波前的各種衍生參數。這個非常好的資料庫可以用在其他生產中的優化。

主要特點

• 量測時間: 每個鏡片小於兩秒
• 大量樣品的全自動量測 (晶圓或預載托盤)
• 使用者可以選擇通過或失敗的標準
• 絕對或相對的波前測量
• 完整的波前分析（PV，RMS，Zernike，PSF，MTF，Strehl）
• 有兩種類型的測試

1. 用於測量球面與非球面透鏡的設置 (單透鏡或晶圓)
2. 用於平面量測 (單面或圓片)

• 輸出所有單鏡片的量測結果
• 整合量測系統，用於測量晶圓方向，總體晶圓凹陷和傾斜度

產品應用

品質控制

• 球面或非球面鏡片
• 光學窗
• 濾光片
• 光學晶圓

Shack-Hartmann傳感器在批量生產中的應用

• 使用Zernike係數與設計數據進行比較
• 直接比較主樣品
• 使用波前分析確定MTF，材料缺陷和生產誤差
• 楔角（可選）
• EFL（可選）

晶片和單透鏡的波前測量

WaveSensor®軟體結構清晰且易於使用，包含所有測量和分析平面，球面和非球面樣品的功能。它還有一個用於WaveMaster®PRO 2和WaveMaster®PRO 2晶圓生產系統的附加模塊。

該軟體與Shack-Hartmann傳感器進行通信，並即時分析測得的波前。此外，它還可以控制WaveMaster®儀器。

優點

• 通過或失敗的自動機制，可自由選擇多種判定標準
• 波前的即時測量和分析
• 顯示：

1. 波前
2. PV和RMS
3. 強度分佈
4. 即時相機圖像

• 波前的Zernike歪斜和散焦係數校正
• 測量和分析區域的可調式遮罩

1. 圓形，矩形和橢圓形遮罩
2. 在遮罩編輯器中的即時相機圖像顯示

• 憑證保存
• 相機圖像平均
• 以不同級別的使用者帳戶權限進行登錄管理
• 整個系統由軟件控制