WaveMaster®PRO 2 / PRO 2 Wafer
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WaveMaster®PRO 2 / PRO 2 Wafer
是全自動波前量測系統,配有Shack-Hartmann感測器,用於透鏡和光學晶片的串聯測試
大批量生產小型塑膠或玻璃鏡片的光學品質與效率要求不斷提高。使用波前測量技術在這樣的批量生產中可以產生很大的優化潛力。
WaveMaster® PRO 2 & PRO 2 Wafer為批量的光學與光學晶片檢測制定了新的標準。典型的量測時間為2秒。光學元件與托盤的快速更換可以滿足批量生產的先決要件。就測量技術而言,WaveMaster®PRO 2和PRO 2 Wafer使用Shack-Hartmann感測器以確定波前的各種衍生參數。這個非常好的資料庫可以用在其他生產中的優化。
主要特點
- 量測時間: 每個鏡片小於兩秒
- 大量樣品的全自動量測 (晶圓或預載托盤)
- 使用者可以選擇通過或失敗的標準
- 絕對或相對的波前測量
- 完整的波前分析(PV,RMS,Zernike,PSF,MTF,Strehl)
- 有兩種類型的測試
- 用於測量球面與非球面透鏡的設置 (單透鏡或晶圓)
- 用於平面量測 (單面或圓片)
- 輸出所有單鏡片的量測結果
- 整合量測系統,用於測量晶圓方向,總體晶圓凹陷和傾斜度
產品應用
品質控制
- 球面或非球面鏡片
- 光學窗
- 濾光片
- 光學晶圓
Shack-Hartmann傳感器在批量生產中的應用
- 使用Zernike係數與設計數據進行比較
- 直接比較主樣品
- 使用波前分析確定MTF,材料缺陷和生產誤差
- 楔角(可選)
- EFL(可選)
晶片和單透鏡的波前測量
WaveSensor®軟體結構清晰且易於使用,包含所有測量和分析平面,球面和非球面樣品的功能。它還有一個用於WaveMaster®PRO 2和WaveMaster®PRO 2晶圓生產系統的附加模塊。
該軟體與Shack-Hartmann傳感器進行通信,並即時分析測得的波前。此外,它還可以控制WaveMaster®儀器。
優點
- 通過或失敗的自動機制,可自由選擇多種判定標準
- 波前的即時測量和分析
- 顯示:
- 波前
- PV和RMS
- 強度分佈
- 即時相機圖像
- 波前的Zernike歪斜和散焦係數校正
- 測量和分析區域的可調式遮罩
- 圓形,矩形和橢圓形遮罩
- 在遮罩編輯器中的即時相機圖像顯示
- 憑證保存
- 相機圖像平均
- 以不同級別的使用者帳戶權限進行登錄管理
- 整個系統由軟件控制