WaveMaster® Compact 2 Universal 

透過Shack-Hartmann傳感器量測波前及單鏡片表面形貌

 WaveMaster® Compact 2 Universal同時包含了穿透及反射模組，可在平面、球面及非球面光學元件的量測以及鏡片表面輪廓量測間進行切換。

主要特點

• 表面輪廓及波前量測儀
• 在不同樣品間可快速切換
• 快速的測量速度與高量的產出
• 亞微米等級的高精度四軸調整樣品架
• 校正補償：於相同樣品中，僅需要最微量的樣品校正調整
• 高精度
• 自動對焦
• 波前傳感器和成像物鏡在出瞳的自動定位
• 波前數據與主鏡頭或設計值的實時比較
• 提供不同數值孔徑的點光源(最高0.95)
• 低振動敏感度
• 使用Shack-Hartmann傳感器測量和分析表面的整合軟體

產品應用

WaveMaster®Compact使用其內建的Shack-Hartmann傳感器來確定以下參數：

• 波前量測(PV,RMS)和表面形貌
• 決定Zernike係數
• 點擴散方程的量測 (PSF)
• 調製傳遞函數(MTF量測)
• 量測Strehl比
• 楔形角度
• 測量非球面透鏡，球體和平面的表面形貌
• 半徑量測

Software for WaveMaster® Compact 2 Universal 軟體

WaveSensor®軟體結構清晰且易於使用，包含所有功能可將樣品與WaveMaster®儀器對齊，以便對其進行測量和分析。該軟體與Shack-Hartmann傳感器進行通信，並即時分析測得的波前。此外，它還可以控制WaveMaster®儀器。

優點

• 表單驅動的操作指南
• 簡單直觀地測量和分析波前和表面
• 全方位的軟體功能：數據收集，數據計算，校準，數據顯示，即時分析
• 通過多重參數表現各種表面形貌：

1. 非球面方程       
2. 圓錐方程
3. 球面方程
4. 自由曲面    

• 載入ZEMAX(可執行標準序列光學元件光線追蹤，非連續光學元件雜散光追蹤，以及物理光學光束傳播)和Code V(綜合性涵蓋了廣泛的光學結構與計算，提供設計、公差、價格、製造與組合的全方位發展平台，可建構多樣性的光學系統，透過圖表方式呈現出系統性能，並利用限制條件與誤差函數進行優化)的理論數據，並在測量過程中進行即時比對
• MTF和PSD

軟體詳述

基本功能

• 即時測量和分析波前
• 顯示：

1. 2D-或3D-的波前、邊緣和相位
2. PV和RMS
3. 強度
4. 局部斜率
5. 相機圖像
6. 絕對和相對測量模式
7. 與主鏡頭或設計數據進行即時比較
8. 波前和相機圖像的平均
9. 測量和分析區域的可調式遮罩
10. 可儲存的配置檔
11. 憑證
12. 多種分析可用模組

MTF / PSF分析模組

• 即時計算並顯示3D MTF和PSF數據
• 帶有MTF測量結果的表格
• 測量結果的導出功能
• 斯特列爾比(Strehl Ratio)的計算

ZERNIKE分析模組

• Zernike多項式即時擬合和分析波前數據
• 以數字和圖形顯示的擬合結果
• 從ZEMAX和CODE V導入波前理論數據進行即時比較
• 以ASCII和ZEMAX格式導出波前數據和分析結果
• 可顯示Zernike係數趨勢 

WaveMaster®儀器控制

• 自動對焦功能
• 自動尋找出射曈
• 平面自動樣品定位（選配）
• 使用預先設定的配置檔 

反射分析模組

• 即時表面形貌分析
• 即時表面擬合
• 與參考數據進行比較
• 將參考數據輸入為係數或點雲資料
• 結果(通過/失效)判定分類
• 以數字和圖形顯示的擬合結果與設計資料的比較
• 自動半徑測量

Upgrades & Accessories for WaveMaster® Compact 2 Universal 

升級及配件

波前儀的特點是靈活的設計，可以使儀器適應特定的應用需求。

WaveMaster®系統的功能在以下附件和升級的幫助下得以擴充。

波前傳感器

當需要更高的動態範圍或精度時，WaveMaster®儀器的波前傳感器可以互換。作為升級，所有可用的WaveSensor®設備都可以實施到WaveMaster®儀器中。TRIOPTICS提供多種波前傳感器，可根據要求提供。

照明

可使用各種具有不同波長和數值孔徑的光源。

藉由運動支架，可以更簡易的更換數值孔徑。

準直儀

為了最大程度地利用傳感器的動態範圍，可使用一套準直儀來增加橫向分辨率。

根據樣品直徑和波前傳感器的尺寸，必須選擇最佳的放大倍率。運動支架可以方便地更換準直儀。