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WaveSensor系列產品搭配Shack-Hartmann波前感測器可以利用在不同量測。WaveSensor可以整合在現有實驗室設備、產品線設置或測試立即使用。再增加一個簡易安裝模組就可以另用反射光量測出表面組成，WaveMaster儀器皆依據專案需求來搭配Shack-Hartmann波前感測器，一般利用在實驗室、研究機構、手機工廠。

WaveMaster^® PRO and PRO Wafer

為符合成像系統在良產品的測試情況下，可以量測單一透鏡組或晶圓透鏡。儀器提供精確、可靠和快速的自動化產品測試，透過快速、高精密波前感測器和定位演算法可以達成。WaveMaster^® PRO，比較WaveMaster^® PRO ，WaveMaster^®PRO Wafer包括一個特別托盤系統，裡面有數個單一透鏡排列直徑可以達到12吋和矽晶圓方位量測器，托盤系統為全自動化定位相測系統。

WaveMaster^® PRO and PRO Wafer在量測每一個單一透鏡時，若量測時間小於3秒，提供偵錯訊息如設計、參考數據、刮傷和鏡頭髒汙。在大量量測時可以得到立即的回饋。電腦軟體增加提供所有WaveMaster^® PRO系列產品，樣品通過/不通過判定。

WaveMaster^®PRO Wafer操作

WaveMaster^® PRO 和PRO Wafer優點

• 高輸出因為高量測速率和全自動分批或晶圓量測
• 高空間頻率解析度
• 點光源與不同光圈(可到達NA0.95)和操作距離
• 容易裝載
• 自動高精確線性定位
• 比較主鏡頭或設計數據量測相對或絕對值
• 全功能波前分析和詳細分析單一鏡頭與晶圓鏡頭
• 產品軟體模組，例如輸出通過/不通陣列，對於使用者兩產品儀器上
• 堅固、不振動框架
• 邊緣焦距量測(FFL)
• 晶圓彎曲補償
• 晶圓定向量測

WaveMaster^® PRO Reflex 

WaveMaster^® PRO Reflex 反射式量測鏡頭表面地型分佈圖，一如WaveMaster^® PRO產品，WaveMaster^® PRO Reflex為全自動和高產出，內裝快速與精確波前感測器，由軟體自動控制聚焦，精確定位演算位置分批次量測鏡頭，量測結果精確度<λ/10和提供關於玻璃型狀偏差訊息，軟體提供不同使用者定義通過/不通過標準，預先判定品質。量測結果是一個矩陣，離及提供即時訊息對於每一個批次鏡頭。

WaveMaster^® PRO Reflex優點

• 全自動大量量測鏡頭表面地型分佈圖
• 高精確、高準確度空間解析
• 高量測速度
• 容易裝載
• 自動化、高精確線性聚焦平台
• 堅固、不振動框架
• 全功能波前分析和詳細分析單一鏡頭與晶圓鏡頭
• 產品軟體模組，例如輸出通過/不通陣列，對於使用者兩產品儀器上
• WaveMaster^®軟體會隨產品模組增加與改進

WaveMaster^® PRO Reflex操作

WaveMaster^® PRO Reflex利用反射式模態來決鏡頭型狀，量測前鏡頭被佈置在托盤系統，該系統已經校正完成。在量測過程中每個樣品在托盤都被自動定位。最後軟體提供一個陣列的量測結果。可以很清楚顯示樣品質是否有達到需求，並輸出結果可以再進行分析。

WaveMaster^® PRO、WaveMaster^® PRO Wafer和WaveMaster^® PRO Reflex軟體擴充

高量產品需求下，要求快速、穩定和全自動過程。WaveMaster^® PRO軟體模組控制整批量測，從量測前的托盤定位到最後量測結果分析都由電腦所控制。當每個鏡頭的即時分析量測都完成後，每個單一鏡頭會根據所選擇規範來判定通過/不通過，可以選擇的規範包含RMS波前誤差、與主鏡頭比對後的殘差波前或以MTF來辨別鏡頭好壞。當晶圓或鏡頭被量測時，每一個批次單一鏡頭的位置可以及時分類顯示通過/不通過，並且可以儲存在電腦文件夾裡頭。也可以針對客戶設定的重要參數在量產過程來做判定，如鏡片像差或螺距誤差。

鏡頭通過與不通過分類